GW-0.8A,GW-0.8B,GW-1.4C
高真空微調進氣閥能**的控制每單位時間內氣體的流量泄露到真空腔室。此閥的截流孔變化是通過微調螺紋機械帶動閥針的上下位移來達到,從而精密的控制了閥門的氣體泄露量。本閥的動密封采用不銹鋼波紋管密封(1.4 除外),保證了閥門動密封的可靠性。為了防止粉塵的進入,在閥的氣流入口,裝有過濾氣片,這樣大大提高了閥門的使用壽命。本閥針的上下位移均有限位裝置,保證了閥針,閥座及波紋管的壽命。閥們的適用介質為空氣及非腐蝕性氣體。